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1200℃小型开启式真空管式炉采用智能化程序控温系统，可控硅控制，控温精度高；双层壳体结构，设计合理，外形美观，结构紧凑；双层炉壳间配有风冷系统，有效保证外壳表面温度；真空级法兰密封，结合我司标准真空、混气系统，可抽真空通气氛。

型号：SK2-2-12QA

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小型开启式管式炉在真空压力下，加在电感线圈的射频电场，使反应室气体发生辉光放电，在辉光发电区域产生大量的电子。这些电子在电场的作用下获得充足的能量，其本身温度很高，它与气体分子相碰撞，使气体分子活化。它们吸附在衬底上，并发生化学反应生成介质膜，副产物从衬底上解吸，随主气流由真空泵抽走，称为等离子体增强化学气相沉(笔贰颁痴顿)。